Блок живлення серії RHH RF

Короткий опис:

Радіочастотні джерела живлення серії RHH базуються на зрілій технології генерації радіочастотних сигналів, що забезпечує клієнтам радіочастотне живлення з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком. Мають можливість налаштування фази, імпульсне керування, цифрове налаштування та інші функції. Застосовувані галузі: фотоелектрична промисловість, виробництво плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторії, наукові дослідження, виробництво тощо.
Застосовувані процеси: плазмохімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне розпилення, реактивне розпилення тощо.

Деталі продукту

Теги продукту

Надіслати нам електронного листа

Особливості

● Типи напівцеглини та кріплення в стійку
● Повністю цифрове керування зі зручним та насиченим меню керування
● Функції налаштування частоти, імпульсів та синхронізації імпульсів
● З функцією фазової синхронізації CEX
● Ідеальна функція захисту

Деталі продукту

Вхід	Вхідна напруга: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (можливі налаштування спеціальних характеристик)
Вхід	Вхідна частота: 47~63 Гц
Вихід	Вихідна частота: 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
	Діапазон налаштування: ±5%
	Вихідна потужність: 1,5~5 кВт
	Діапазон регулювання вихідної потужності: 1~100%
	Вихідний імпеданс: 50Ω+j0
	Вихідний інтерфейс: тип N
	Режим виходу: безперервний, імпульсний
	Частота імпульсів: 100 Гц ~ 100 кГц
	Робочий цикл: 5~95%
Індекс продуктивності	Коефіцієнт потужності: 0,98
	Точність стабільності частоти: ±0,005%
	ККД: 75% (при номінальній потужності)
	Гармоніка: <-45dBc
	Розсіяні шуми: <-50dBc
	Зовнішній інтерфейс керування: аналогова величина, зв'язок та синхронізація
	Режим зв'язку: стандартний інтерфейс зв'язку RS485; опціонально Ether CAT, промисловий Ethernet тощо.
Примітка: продукт продовжує вдосконалюватися, а його продуктивність продовжує покращуватися. Цей опис параметрів наведено лише для довідки.