Середньочастотне джерело живлення з напиленням серії MSB
-
Середньочастотне джерело живлення з напиленням серії MSB
Радіочастотний джерело живлення серії RHH покладається на сучасну технологію генерації радіочастот, щоб забезпечити споживачів радіочастотним джерелом живлення з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком. З можливістю встановлення фази, керування імпульсом, цифрової настройки та інших функцій. Сфери застосування: фотоелектрична промисловість, промисловість плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторія, наукові дослідження, виробництво тощо.
Застосовні процеси: плазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне напилення, реактивне напилення тощо.