Радіочастотне джерело живлення
-
Радіочастотний блок живлення серії RLS
Радіочастотне джерело живлення серії RLS використовує поточний стабільний і надійний підсилювач потужності та основну систему керування постійним струмом компанії, завдяки чому продукт має дуже стабільну продуктивність і високу надійність.Прийняти китайський та англійський інтерфейс дисплея, простий у експлуатації.В основному використовується у фотоелектричній промисловості, промисловості плоских дисплеїв, напівпровідниковій промисловості, хімічній промисловості, лабораторії, наукових дослідженнях, виробництві тощо.
-
Сірники серії RMA
Він може бути адаптований до радіочастотного джерела живлення серії RLS і широко використовується в плазмовому травленні, нанесенні покриттів, плазмовому очищенні, плазмовій дегумації та інших процесах.При окремому використанні його можна використовувати разом з радіочастотними джерелами живлення інших виробників.
-
Радіочастотний блок живлення серії RHH
Радіочастотний джерело живлення серії RHH спирається на сучасну технологію генерації радіочастот, щоб забезпечити споживачів радіочастотним джерелом живлення з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком.З можливістю встановлення фази, керування імпульсом, цифрової настройки та інших функцій.Сфери застосування: фотоелектрична промисловість, промисловість плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторія, наукові дослідження, виробництво тощо.
Застосовні процеси: плазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне напилення, реактивне напилення тощо.