Середньочастотне джерело живлення з напиленням серії MSB

Короткий опис:

Радіочастотний джерело живлення серії RHH спирається на сучасну технологію генерації радіочастот, щоб забезпечити споживачів радіочастотним джерелом живлення з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком.З можливістю встановлення фази, керування імпульсом, цифрової настройки та інших функцій.Сфери застосування: фотоелектрична промисловість, промисловість плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторія, наукові дослідження, виробництво тощо.

Застосовні процеси: плазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне напилення, реактивне напилення тощо.

Деталі продукту

Теги товарів

Надішліть нам електронний лист

Особливості

● Стилі монтажу в півцеглини та стійки

● Прийміть повне цифрове керування зі зручним і багатим меню операцій

● Функції налаштування частоти, імпульсу та синхронізації імпульсів

● З функцією фазової синхронізації CEX

● Ідеальна функція захисту

Деталі продукту

Введення	Вхідна напруга: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (спеціальні характеристики можна налаштувати)
Введення	Вхідна частота: 47~63 Гц
Вихід	Вихідна частота: 13,56 МГц、27,12 МГц、40,68 МГц
	Діапазон налаштування: ±5%
	Вихідна потужність: 1,5~5кВт
	Діапазон регулювання вихідної потужності: 1~100%
	Вихідний опір: 50Ω+j0
	Вихідний інтерфейс: тип N
	Режим виходу: безперервний, імпульсний
	Частота імпульсів: 100 Гц ~ 100 кГц
	Робочий цикл: 5~95%
Індекс ефективності	Коефіцієнт потужності: 0,98
	Точність стабільності частоти: ±0,005%
	ККД: 75% (при номінальній потужності)
	Гармонічний: <-45 дБн
	Розсіяний: <-50 дБн
	Зовнішній інтерфейс управління: аналогова величина, зв'язок і синхронізація
	Режим зв'язку: стандартний інтерфейс зв'язку RS485;Додатковий Ether CAT, промисловий Ethernet тощо.
Примітка: продукт продовжує вдосконалюватися, а продуктивність продовжує покращуватися.Цей опис параметра лише для довідки.