Джерело живлення середньочастотного напилення серії MSB
-
Джерело живлення середньочастотного напилення серії MSB
Радіочастотні джерела живлення серії RHH базуються на зрілій технології генерації радіочастотних сигналів, що забезпечує клієнтам радіочастотне живлення з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком. Мають можливість налаштування фази, імпульсне керування, цифрове налаштування та інші функції. Застосовувані галузі: фотоелектрична промисловість, виробництво плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторії, наукові дослідження, виробництво тощо.
Застосовувані процеси: плазмохімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне розпилення, реактивне розпилення тощо.