Мікрохвильова потужність
-
Мікрохвильова потужність
Мікрохвильовий імпульсний блок живлення - це новий тип мікрохвильового джерела живлення на основі високочастотної інверторної технології IGBT.Він об’єднує анодне джерело живлення високої напруги, джерело живлення нитки розжарювання та джерело живлення магнітного поля (за винятком мікрохвильового джерела живлення 3 кВт).Хвильовий магнетрон забезпечує умови роботи.Цей продукт використовується в MPCVD, мікрохвильовому плазмовому травленні, мікрохвильовій плазмовій дегумації та інших областях.