Осадження
Отримайте аналітику та пришвидшіть процес розробки.
Advanced Energy постачає рішення для живлення та керування критично важливими застосуваннями нанесення тонких плівок та геометріями пристроїв. Для вирішення проблем обробки пластин наші рішення для прецизійного перетворення енергії дозволяють оптимізувати точність живлення, прецизійність, швидкість та повторюваність процесу.
Ми пропонуємо широкий діапазон радіочастот, систем живлення постійного струму, індивідуальні рівні вихідної потужності, технології узгодження та рішення для моніторингу температури волоконно-оптичними волокнами, які дійсно дозволяють вам краще контролювати технологічну плазму. Ми також інтегруємо Fast DAQ™ та наш пакет збору та доступу до даних, щоб забезпечити розуміння процесу та пришвидшити процес розробки.
Дізнайтеся більше про наші процеси виробництва напівпровідників, щоб знайти рішення, яке відповідає вашим потребам.
Ваш виклик
Від плівок, що використовуються для формування розмірів інтегральних схем, до провідних та ізоляційних плівок (електричні структури) та металевих плівок (взаємоз'єднання), ваші процеси осадження вимагають контролю на атомарному рівні — не лише для кожної характеристики, але й по всій пластині.
Окрім самої структури, ваші нанесені плівки повинні бути високої якості. Вони повинні мати бажану зернисту структуру, однорідність та конформну товщину, а також бути без пустот — і це на додаток до забезпечення необхідних механічних напружень (стиск та розтяг) та електричних властивостей.
Складність продовжує лише зростати. Щоб вирішити проблеми з обмеженнями літографії (вузли розміром менше 1X нм), методи самовирівнювання подвійного та чотириразового формування малюнка вимагають, щоб ваш процес осадження створював та відтворював малюнок на кожній пластині.
Наше рішення
Коли ви розгортаєте найважливіші програми осадження та геометрії пристроїв, вам потрібен надійний лідер ринку.
Технологія подачі радіочастотної потужності та високошвидкісного узгодження від Advanced Energy дозволяє налаштовувати та оптимізувати точність, прецизійність, швидкість та повторюваність процесу, необхідні для всіх передових процесів напилення методами PECVD та PEALD.
Використовуйте нашу технологію генератора постійного струму для точного налаштування вашої налаштовуваної реакції дуги, точності потужності, швидкості та повторюваності процесу, необхідних для процесів PVD (напилення) та ECD-напилення.
Переваги
● Підвищена стабільність плазми та повторюваність процесу збільшують вихід
● Точна подача радіочастотних та постійних сигналів з повним цифровим керуванням допомагає оптимізувати ефективність процесу
● Швидка реакція на зміни плазми та керування дугою
● Багаторівнева імпульсна генерація з адаптивним налаштуванням частоти покращує селективність швидкості травлення
● Глобальна підтримка доступна для забезпечення максимальної безвідмовної роботи та продуктивності продукту