осадження
Отримайте інформацію та прискоріть процес розробки.
Advanced Energy надає рішення для живлення та керування для критично важливих додатків нанесення тонкої плівки та геометрії пристроїв.Щоб вирішити проблеми з обробкою пластин, наші рішення для точного перетворення електроенергії дозволяють оптимізувати точність потужності, точність, швидкість і повторюваність процесу.
Ми пропонуємо широкий діапазон радіочастот, систем живлення постійного струму, індивідуальні рівні вихідної потужності, узгоджені технології та оптоволоконні рішення для моніторингу температури, які справді дозволяють вам краще контролювати процес плазми.Ми також інтегруємо Fast DAQ™ і наш пакет збору даних і доступності, щоб забезпечити розуміння процесів і прискорити процес розробки.
Дізнайтеся більше про наші процеси виробництва напівпровідників, щоб знайти рішення, яке відповідає вашим потребам.
Ваш виклик
Від плівок, які використовуються для моделювання розмірів інтегральних схем, до провідних та ізоляційних плівок (електричні конструкції), до металевих плівок (взаємозв’язок), ваші процеси осадження вимагають контролю на атомному рівні — не лише для кожної функції, але й для всієї пластини.
Окрім самої структури, ваші депоновані плівки мають бути високоякісними.Вони повинні мати бажану зернисту структуру, однорідність і конформну товщину, а також бути без порожнеч — і це на додаток до необхідних механічних напруг (стиск і розтяг) і електричних властивостей.
Складність лише зростає.Щоб усунути обмеження літографії (вузли менше 1X нм), самовирівняні методи подвійного та четверного візерунків вимагають, щоб ваш процес нанесення створював і відтворював візерунок на кожній пластині.
Наше рішення
Коли ви розгортаєте найважливіші додатки для осадження та геометрії пристроїв, вам потрібен надійний лідер ринку.
Технологія доставки радіочастотного живлення та високошвидкісного узгодження від Advanced Energy дозволяє налаштовувати та оптимізувати точність, точність, швидкість і повторюваність процесу, необхідні для всіх вдосконалених процесів осадження PECVD і PEALD.
Використовуйте нашу технологію генератора постійного струму, щоб точно налаштувати реакцію дуги, точність потужності, швидкість і повторюваність процесів, необхідні для процесів PVD (напилення) і ECD.
Переваги
● Покращена стабільність плазми та повторюваність процесу збільшує вихід
● Точна подача радіочастот і постійного струму з повним цифровим керуванням допомагає оптимізувати ефективність процесу
● Швидка реакція на зміни плазми та керування дугою
● Багаторівнева пульсація з адаптивним налаштуванням частоти покращує вибірковість швидкості травлення
● Глобальна підтримка доступна для забезпечення максимального часу безвідмовної роботи та продуктивності продукту